인천대는 “진성훈 교수의 논문 ‘초고주파 기반에서 수평으로 정렬된 탄소나노튜브 대면(大面)적 정제기술’이 세계적 과학전문지인 네이처커뮤니케이션즈 12일(현지 시각)자에 실렸다”고 13일 밝혔다.

진 교수는 논문의 주 저자로 참여해 미국의 존 로저스 일리노이주립대 교수팀과 연구를 공동 진행했다. 존 로저스 교수는 네이처가 지난 2012년 뽑은 ‘세계 10대 과학자’ 중 한 명에 선정되는 등 이 분야의 세계 최고 권위자다.

탄소나노튜브는 반도체 재료로 사용하는 실리콘 기반의 소자보다 전류전달속도에서 탁월한 성능을 보여 차세대 반도체 재료로 각광을 받고 있으며, 상용화 연구가 세계적으로 진행되고 있다.

하지만 평면형의 소자에 적합한 화학기상증착(氣上蒸着·CVD)에 기반을 둬 형성된 탄소나노튜브는 3분의 1은 금속형 특성이 있고 3분의 2는 반도체형 특성이 있어 디지털 회로에 적용하는데 적지 않은 어려움이 있었다.

진 교수는 금속형 탄소나노튜브를 선택적으로 제거하기 위해 전자레인지에 사용하는 마이크로웨이브를 쏘아 탄소나노튜브 표면에만 유기 박막을 띄워 형태화했다.

이 연구 성과는 진 교수의 기존 원천기술 연구에 비해서도 공정 단축, 시간 단축, 면적 확대 등 상당히 향상된 것으로 평가받고 있다.

진 교수는 “현재 반도체 소자 기술의 최고 수준은 14나노 이하인데, 이번 연구가 10나노 이하의 차세대 트랜지스터 개발에 새로운 청신호를 열었다는 데 의의가 있다”고 밝혔다.